Setze
$$
I = \int_{0}^{\infty} e^{-x^2} \, \mathrm{d}x .
$$
Das Integral existiert, denn der Integrand ist stetig, positiv und für $x \ge 1$ durch $e^{-x}$ beschränkt; insbesondere ist $0 < I < \infty$.
Quadrieren. Da der Integrand nichtnegativ und messbar ist, erlaubt der Satz von Tonelli, das Produkt als Doppelintegral zu schreiben:
$$
I^2
= \left( \int_{0}^{\infty} e^{-x^2} \mathrm{d}x \right) \left( \int_{0}^{\infty} e^{-y^2} \mathrm{d}y \right)
= \int_{0}^{\infty} \int_{0}^{\infty} e^{-(x^2 + y^2)} \, \mathrm{d}x \, \mathrm{d}y .
$$
Integriert wird über den offenen ersten Quadranten $Q = \{ (x,y) : x > 0, \, y > 0 \}$.
Polarkoordinaten. Mit $x = r \cos \varphi$, $y = r \sin \varphi$ wird $Q$ durch $r \in (0, \infty)$ und $\varphi \in (0, \tfrac{\pi}{2})$ beschrieben, die Funktionaldeterminante ist $r$, und es gilt $x^2 + y^2 = r^2$. Also
$$
I^2 = \int_{0}^{\pi/2} \int_{0}^{\infty} e^{-r^2} \, r \, \mathrm{d}r \, \mathrm{d}\varphi .
$$
Das innere Integral löst die Substitution $u = r^2$, $\mathrm{d}u = 2r \, \mathrm{d}r$:
$$
\int_{0}^{\infty} e^{-r^2} r \, \mathrm{d}r = \frac{1}{2} \int_{0}^{\infty} e^{-u} \, \mathrm{d}u = \frac{1}{2} .
$$
Der Integrand hängt nicht mehr von $\varphi$ ab, also
$$
I^2 = \int_{0}^{\pi/2} \frac{1}{2} \, \mathrm{d}\varphi = \frac{\pi}{4} .
$$
Wurzel ziehen. Wegen $I > 0$ folgt
$$
I = \sqrt{\frac{\pi}{4}} = \frac{\sqrt{\pi}}{2} . \qquad \blacksquare
$$
Nachbemerkung
Aus Symmetriegründen ist $\int_{-\infty}^{\infty} e^{-x^2} \mathrm{d}x = \sqrt{\pi}$. Genau dieser Wert sorgt dafür, dass die Dichte der Standardnormalverteilung $\frac{1}{\sqrt{2\pi}} e^{-x^2/2}$ das Integral 1 hat.
Der Trick, ein Integral über sein Quadrat zu bestimmen, wird Poisson zugeschrieben – er verlegt das Problem von einer in zwei Dimensionen, wo die Rotationssymmetrie von $e^{-(x^2+y^2)}$ die Rechnung trivial macht.